KEYENCE基恩士光電傳感器芯體設(shè)計(jì)和性能測(cè)試
KEYENCE基恩士光電傳感器作為一種近些年新出現(xiàn)的一種壓力傳感器[6]，直接以機(jī)加工不銹鋼薄膜作為直接感壓?jiǎn)卧?，以硅?yīng)變計(jì)為信號(hào)轉(zhuǎn)換元件，相對(duì)陶瓷壓力傳感器有更*的精度，相對(duì)充油壓力傳感器有更低的成本，能夠覆蓋中低*全量程。本文基于不銹鋼壓力傳感器的原理，設(shè)計(jì)了一種壓力傳感器芯體，具有過載大、耐腐蝕、成本低、可靠性好的特點(diǎn)。
KEYENCE基恩士光電傳感器芯體以不銹鋼薄膜作為感壓結(jié)構(gòu)，以應(yīng)變片作為測(cè)量單元，基本結(jié)構(gòu)如圖1(a)左所示，芯體為17-4PH不銹鋼一體加工結(jié)構(gòu)，下部包括壓力傳感器芯體的導(dǎo)壓孔及過程連接接口，上部與測(cè)量介質(zhì)接觸的為一體不銹鋼，感壓硅應(yīng)變計(jì)粘貼于不銹鋼膜片的上表面。整個(gè)芯體內(nèi)部無密封件及焊縫，從根本上杜絕了產(chǎn)品內(nèi)部的測(cè)量介質(zhì)泄露隱患。使用本芯體組裝后的傳感器、電路及感應(yīng)元件在膜片的一側(cè)，測(cè)量介質(zhì)在膜片的另一側(cè)，從而外部介質(zhì)環(huán)境與傳感器芯體內(nèi)部完全隔離，從而實(shí)現(xiàn)測(cè)量各類與不銹鋼材料兼容的氣體和液體等介質(zhì)壓力。傳感器芯體整體*度15.75 mm，處的直徑為14 mm，頂部應(yīng)變片粘貼臺(tái)面直徑6 mm，中間通氣孔直徑3.4 mm，頂部臺(tái)面下方傳感頸部有應(yīng)力隔壁槽，隔離裝配應(yīng)力，從而提*傳感器穩(wěn)定性。本文壓力傳感器整體芯體尺寸較目前的常規(guī)的帶螺紋接口的充油壓力芯體、陶瓷壓力芯體都小，便于后續(xù)組裝成小型或*小型壓力傳感器。如圖1(b)右所示，針對(duì)傳感器芯體頂部的感壓膜壓力形變進(jìn)行了有限元仿真，得到了彈性體受到5 MPa壓強(qiáng)作用時(shí)的應(yīng)力云圖和形變?cè)茍D，由圖中可以看到，彈性膜以中心點(diǎn)對(duì)稱向上凸起，變形在中心處，為1.99μm。彈性膜應(yīng)力點(diǎn)在中心處為73.34 MPa，向外應(yīng)力逐漸變小，在薄膜的邊緣處又稍微變大。
常見的應(yīng)變片為鉑應(yīng)變片，用于各種場(chǎng)合的力傳感測(cè)量，但是溫度漂移大，靈敏度小，而硅應(yīng)變片采用MEMS工藝加工[7]，具有靈敏度*、體積小和精度*的特點(diǎn)，便于進(jìn)行微區(qū)應(yīng)力測(cè)量，因此本傳感器采用硅應(yīng)變片做測(cè)量單元。同時(shí)，硅應(yīng)變片與不銹鋼之間的粘接材料使用微熔玻璃粉，由于玻璃與硅有大概相同的熱膨脹系數(shù)，同時(shí)穩(wěn)定性好，有利于傳感器芯體的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。不銹鋼壓力變送器基本工作原理如圖2所示，采用厚膜工藝將無機(jī)粘接材料微熔玻璃膠體印刷在不銹鋼彈性體上，貼在不銹鋼感壓基座表面的2個(gè)硅電阻應(yīng)變片感測(cè)基座不銹鋼膜片的形變。每個(gè)應(yīng)變片由2個(gè)蛇形電阻構(gòu)成，2個(gè)應(yīng)變片，4個(gè)電阻通過引線互連，構(gòu)成惠斯通電橋，從而輸出電壓信號(hào)。如圖1(b)所示。外側(cè)的兩個(gè)電阻R1和R4中心處位于彈性膜邊緣，當(dāng)傳感器承受壓力時(shí)，不銹鋼感壓膜片產(chǎn)生變形，R1,R4承受壓應(yīng)力，電阻變小，R2,R3承受拉應(yīng)力，電阻變大，電橋不平衡，輸出與隨壓力線性變化的電信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)壓力測(cè)量。
KEYENCE基恩士光電傳感器體制造
基于以上的結(jié)構(gòu)和工藝設(shè)計(jì)，進(jìn)行了傳感器芯體的試制。芯體的主要制造流程:(a1)采用17-4PH不銹鋼坯料進(jìn)行粗車加工成型，得到帶有不銹鋼薄膜的壓力芯體，然后對(duì)端面進(jìn)行精銑，得到***不銹鋼薄膜結(jié)構(gòu)，然后對(duì)不銹鋼芯體表面進(jìn)行噴砂處理;(a2)利用絲網(wǎng)印刷工藝在不銹鋼芯體臺(tái)面上絲印微熔玻璃膠體;(a3)干燥并在帶氣氛保護(hù)的燒結(jié)爐中進(jìn)行500℃快速燒結(jié)形成玻璃基體;(a4)將硅應(yīng)變片放置在微熔玻璃基體相應(yīng)的位置上;(a5)將放置好的應(yīng)變片及不銹鋼基底在帶氣氛保護(hù)的燒結(jié)爐中進(jìn)行*溫?zé)Y(jié)。在不銹鋼壓力芯體的制作環(huán)節(jié)中，不銹鋼基體的制作極為關(guān)鍵，加工需要***、低應(yīng)力，***加工才能**傳感器靈敏度的批量穩(wěn)定性，低應(yīng)力銑削加工**傳感器不銹鋼壓力薄膜，沒有塑性損傷，才能夠承受工作環(huán)境中的多次壓力沖擊，**傳感器的疲勞可靠性。
硅應(yīng)變片的貼片效果直接影響了傳感器芯體的性能，為了KEYENCE基恩士光電傳感器芯體的制備效果，利用光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡(SEM)對(duì)貼片后的硅應(yīng)變片進(jìn)行了表征。如圖4所示，為粘貼在不銹鋼感壓膜表面的硅應(yīng)變片的光學(xué)及SEM圖像，圖右中應(yīng)變片周圍的白域?yàn)闊Y(jié)后的玻璃，可以看到，硅應(yīng)變片通過玻璃完整可靠的粘接在了不銹鋼的表面。
KEYENCE基恩士光電傳感器針對(duì)加工完成的不銹鋼壓力傳感器進(jìn)行相關(guān)性能測(cè)試，搭建了相關(guān)的測(cè)試系統(tǒng)，包括鋼瓶氣源、氣壓控制器、壓力加載工裝、***電壓源及***電壓表。傳感器感壓芯體需要進(jìn)一步處理便于測(cè)量，首先將轉(zhuǎn)接PCB電路板固定在不銹鋼基底上，通過引線進(jìn)行電路與硅應(yīng)變片的互聯(lián)，并點(diǎn)膠保護(hù)，將傳感器信號(hào)引出。性能測(cè)試時(shí)，電源在電橋輸入端施加5V電壓，***電壓表測(cè)量輸出端Out+及Out-兩端的差分電壓。KEYENCE基恩士光電傳感器輸出到壓力芯體下端引壓孔，測(cè)試在不同氣壓條件下，壓力芯體電橋輸出端對(duì)應(yīng)用的電壓輸出。
如表1所示，分別測(cè)試了3只不銹鋼壓力芯體分別在0,1,2,3,4,5 MPa的壓力輸出，KEYENCE基恩士光電傳感器性能試驗(yàn)方法進(jìn)一步分析了傳感器的線性度，1#、2#、3#樣品分別為0.32%,0.34%,0.49%，技術(shù)指標(biāo)穩(wěn)定可靠，初步實(shí)現(xiàn)了設(shè)計(jì)目標(biāo)。可以看出傳感器的零點(diǎn)都不在0 m V，同時(shí)滿量程輸出也均不同，這可能是因?yàn)閴毫鞲衅餍倔w上的硅應(yīng)變片貼片的位置精度和不銹鋼感壓膜的厚度加工精度不夠的原因，需要在后續(xù)的研制中進(jìn)一步改進(jìn)。
KEYENCE基恩士光電傳感器本文研制了一種小型不銹鋼壓力傳感器芯體，這種不銹鋼壓力變送器基于硅應(yīng)變片技術(shù)和玻璃微熔工藝，通過500℃以上*溫玻璃微熔，將硅應(yīng)變片燒結(jié)在17-4PH彈性體上，彈性體與壓力接口采用一體化設(shè)計(jì)，無“O”型圈、無焊縫、無泄漏隱患、耐腐蝕性強(qiáng)，線性度達(dá)到0.32%。傳感器芯體的零點(diǎn)和滿量程輸出的一致性還不夠，需要在進(jìn)一步的工作中進(jìn)行改進(jìn)。本文的研制工作，為小型不銹鋼壓力傳感器的研制奠定了基礎(chǔ)。